Тонкоплівковий ємнісний перетворювач на основі гетероструктури діелектрик/провідник, який включає діелектричний шар та провідний електрод, відрізняється тим, що діелектричний шар ємнісного перетворювача виконано на основі двошарової структури поліімід/Аl2О3, а провідний електрод виконано на основі двошарової прозорої структури ІТО/гребінчатий Аl.