Просмотр информации о документе
Название:
108516 Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання
Коллекция:
Патенти і винаходи » Патенти
Ключевые слова:
Кафедра:
Издатель:
Год публикации:
ISBN/ISSN:
Вид документа:
патент
Язык документа:
українська
Добавлен в архив:
31.08.2016
Сводная информация по документу:
Клєпікова, К.С. 108516 Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання [Текст] / Клєпікова К.С., Копач В.Р., Клочко Н.П., Кіріченко М.В., Зайцев Р.В., Хрипунов Г.С., Любов В.М. // Патенти і винаходи : Патенти - , 2016.
Постоянная ссылка:
Аннотация:

Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання на основі наноструктурованих масивів цинк оксиду із конфігурацією шарів "провідна підкладка|наноZnO|тильний контакт", який відрізняється тим, що, формування наноструктурованих масивів ZnO здійснюють технологією електроосадження в імпульсному режимі із подальшим відпалом на повітрі при температурі 240-260 °C протягом 3-6 хв., тильні контакти виконані у вигляді плівки алюмінію, сформованою вакуумним осадженням на верхніх торцях наноструктурованих масивів ZnO шляхом випаровування Al під кутом 65-75° від нормалі до підкладки, а освітлення здійснюють зі сторони підкладки з прозорого для ультрафіолету скла, вкритого прозорою для УФ електропровідною плівкою.

отсутствует

absent


© 2021 — Разработано лабораторией информационно-поисковых систем НТУ "ХПИ"